设计之外的分划板的极限


设计继续增长的规模和复杂性,但是今天他们达到身体和经济挑战。这些挑战导致一体化趋势的逆转提供了大部分的性能和收益在过去的几十年里。行业,放弃,是探索新方法使设计超越分划板的大小,这是8…»阅读更多

案例研究:监测湿度减少十字线烟雾效果


理解十字线阴霾:没有合适的控制措施,浸技术扫描仪受到不利影响的现象称为“阴霾。“烟雾是由三个具体因素的组合:点击这里继续阅读。»阅读更多

EUV十字线打印验证与先进的宽带光学晶片检查和电子束审查系统


极端的紫外线(EUV)光刻生态系统正在积极制定使sub-7nm设计规则的设备,有一个直接的和必要的需要确定EUV十字线(面具)检验方法。引入额外的粒子源由于真空系统和增长潜力的阴霾缺陷或其他电影或粒子口供十字线,梳子…»阅读更多

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