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铜互连能走多远?


随着领先的芯片制造商继续将finfet(很快还会是纳米片晶体管)的尺寸扩大到越来越小的间距,使用铜作为衬里和阻挡金属的最小金属线最终将变得站不住脚。接下来会发生什么,什么时候发生,还有待决定。目前正在探索多种选择,每一种都有自己的一套权衡。自从IBM将计算机引入这个行业…»阅读更多

DSA:炒作还是革命?


定向自组装(DSA)已经成为光刻界大量研究关注的主题,在今年2月的先进光刻大会上有专门的会议。那么,这只是另一种短暂的研究潮流,还是一种将彻底改变半导体制造业的技术?DSA采用嵌段共聚物,有效…»阅读更多

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