过滤工厂问题


伯特兰阿来,总裁兼首席执行官Entegris,坐下来讨论半导体行业,过程和过滤技术与半导体工程挑战。以下是摘录的谈话。SE:集成电路产业的前景是什么?阿来:很多积极的事情发生。我们做耗材的百分之八十,这将是化学和过滤器……»阅读更多

好过滤器,可怜的抗拒


萎缩的特征尺寸和更复杂的光刻方案增加光刻过程的各个方面的压力,包括拒绝和抵制过滤。克林特·哈里斯,副总裁和总经理对液体微污染控制Entegris解释说,晶圆厂正在抵制制造商向更严格控制污染物和“软particl……»阅读更多

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