国家实验室搬到8英寸晶圆和开发一种新的红外探测器的设计。
桑迪亚国家实验室微电子工厂刚刚完成更新设备,标志着完成3年工厂升级计划的第一阶段。过渡从6英寸到8英寸晶圆尺寸将使美国能源部国家实验室与行业标准,以确保更容易访问工具、零部件和原材料。
西瓜是一个著名的成员半工厂业主联盟失落(半),一个国际群半导体和MEMS工厂经理和行业供应商,定期开会来解决常见的非竞争性生产问题和提高他们的业务结果。半迈克尔•福尔摩斯与高级经理桑迪亚的精密加工方法对其振兴工厂在开发新的生产工艺和技术。
半:的主要挑战是什么进入和8英寸晶圆生产吗?
福尔摩斯:转换的目标是重建我们的8英寸晶圆上6英寸的生产过程包括我们辐射350纳米CMOS和MEMS技术。这需要调优数以百计的相关参数之前得到相同的结果,但是在不同的设备和更大的规模。此外,在转换期间我们正在开发一个新的180海里辐射CMOS生产过程和重建研究工作8日”在我们的硅光子学和离子阱技术。修改所需的设备也包括提高天花板安装新的离子注入机和搬迁我们净化服地区促进新CMP的安装工具。除了把我们的硅制造设施,我们也将选择在我们的化合物半导体设备设施。我们是一个大型团队朝着这些目标。
半:有任何障碍在维持生产的6英寸晶圆而规划和实施流程升级到8英寸吗?
福尔摩斯:六年的计划确保转换不会影响生产国防所需的组件。这个规划窗口被要求确保完成生产承诺在转换之前2018年8月开始,承诺在2021年7月开始恢复生产。这一时期提供了硬件转换和时间来完成步骤审查和requalify生产线,确保产品使用新设备生产的旧设备完全相同。按计划完成硬件转换阶段和原型的制造和研究组件8英寸始于2018年11月。
半:你能阐明黄金天线的发展这一承诺改善热红外辐射功能系统?
福尔摩斯:桑迪亚开发出一种新的红外探测器设计,脱离依赖厚层探测器材料,而是使用一个亚波长nanoantenna——一系列图案的黄金广场或交叉形状,光线集中在一层薄的材料。本设计使用的探测器材料的微米,而传统的热红外探测器有5到10微米的厚度。nanoantenna-enhanced设计增加一个红外辐射探测器的数量可以看到,同时减少图像失真引起的背景噪音。它还允许新的探测器的发明的概念。
半:桑迪亚以生产高可靠性的组件。几个半失落成员客户在汽车领域,可靠性是至关重要的。你对他们有什么建议路径可靠性高,可以顺利系统?
福尔摩斯:高可靠性的微器件在桑迪亚的台面设施是至关重要的。结构化的质量程序严格实现生产过程的每个方面。我们的流程和设计规则围绕可靠性,我们广泛利用在线计量和电气测试来验证设备在生产。
半:有什么例子失落的对等对话和知识共享帮助你升级从6英寸到8英寸?
福尔摩斯:桑迪亚失落是新的。已经非常有价值,我们最初的交互和成员有共同的见解指标和过程改进,有利于台面前进。相对于6英寸到8英寸转换,作为我们的规划过程的一部分,我们与其他铸造厂失落在征求反馈和经验教训。
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