要做什么当你熟悉EDA工具不工作。
由尼古拉斯•威廉姆斯和京
物联网(物联网)应用程序依赖于智能对象,与现实世界的互动。所以你的物联网项目可能包含集成微型机电系统(MEMS)的集成电路,如加速度传感器、压力传感器、汽车、和麦克风获取数据进行分析。这些项目正在寻找进入汽车、手机、和医疗设备作为区分功能。物联网项目是独一无二的,他们经常需要模拟、数字、射频和MEMS设计技巧来创建一个系统在一个集成电路。
但当添加MEMS芯片设计,你可能会发现熟悉的EDA工具不够聪明。为什么?MEMS设计要求的规范独特的形状(见图1),很难创建和使用标准的集成电路设计工具来验证。
图1:MEMS磁致动器、加速度计和旋转驱动电动机。
MEMS的独特形状是许多问题的根本原因,可以使用标准IC布局工具时发生。你可能会寻找新的技术来解决这些问题。这里有四个关键领域特有的MEMS设计:
绘制复杂形状
手工画MEMS形状最简单的方法是绘制一组曲线对象可以缝在一起,形成复杂的结构,如一个万向节磁致动器(参见图2)。
图2:从基本曲面物体形状复杂的MEMS缝合。
MEMS布局需要精确位置和对齐,以创建复杂的形状。你需要all-angle旋转和定位功能。拍摄技术允许复杂的对齐选项如拍摄一个顶点或边的中点允许精确组装复杂的微机电系统。有时更容易实现移动对象使用命令指定水平和垂直坐标,同时保护角和边的长度。
您通常想组一组对象块或主细胞以便重用。你可以参考这个主细胞的实例构建一个复杂的MEMS布局。如果你更改主细胞,所有实例的设计更改,除非你保护特定实例。这允许您快速更新一套改变细胞。
曲线转换
标准IC工具转换曲线多边形使用固定数量的all-angle多边形顶点(通常为64)。这意味着,随着曲线的大小增加,出错率也在不断增加。更准确的方法是使用制造网格顶点的数量规模保持错误率低。尽管边缘平滑伪造时,出错率影响产生的MEMS结构如何执行。表1显示了不同向量数和错误率三样形状,根据转换技术。
表1:比较曲线转换技术。
通过设计规则检查
MEMS形状可以出现的另一个挑战是处理错误的错误在刚果民主共和国由于all-angle转换。例如,如果您正在使用一个扩展规则(一层之间的测量对象,扩展出一个物体在另一个层),虚假的错误可能发生。在这种情况下,错误的错误发生在弯曲的边缘被近似为多个小all-angle边缘长单边缘分解成多个小的边缘,如图3所示。
图3:虚假的刚果民主共和国all-angle转换而引起的错误。
更好的方法是使用边缘形状分析消除尽可能多的错误的错误。
检查连接
更直观的检查MEMS视觉上的连接,而不是通过连接文本中的错误报告。你想选择一个节点,然后看到所有的几何连接到该节点通过层。图4中显示了两个节点高亮显示,直观地显示坏连接。在本例中,您可以看到一个小舍入造成的差距。
图4:视觉上突出两个节点之间的连接。
结论
MEMS设计时,重要的是要检查的关键限制标准IC工具和找到解决任意形状和结构的挑战。了解更多关于提高你的智商MEMS-based IC设计流程,下载白皮书”会议MEMS设计挑战具有独特的布局编辑和验证功能。“点击在这里下载第1部分在这里第2部分下载。
七金是一个技术营销工程师导师图形。
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