使用加热气体分子测量加速度。
加速度计在许多市场发挥宝贵的作用。你的智能手机,就像你的车。测量速度变化量的速度似乎有无限的应用程序。虽然有很多设计技术可用于创建一个加速度计,美新公司开发了一种MEMS和CMOS集成电路技术使用Tanner工具没有移动部件。使用一个独特的热技术,加速度是衡量使用加热气体分子。
很难足以设计混合信号处理作为MEMS设备到相同的芯片,但美新管理集成这些技术在同一硅和销售数百万加速度计的各种行业。该公司还解决另外两个问题:保持低生产成本坚持一个标准CMOS集成电路的过程,和标准化发展从坦纳在一个单一的工具集。本文讨论了如何完成这一壮举。
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