制造业:6月2日

EUV光刻在外层空间
美国太空计划5月31日创造了历史,2020年,NASA的宇航员罗伯特Behnken和道格拉斯·赫尔利在SpaceX的船员龙飞船抵达国际空间站(ISS)。这是第一次商业宇宙飞船送宇航员到国际空间站。

国际空间站作为研究实验室的公司,政府机构和大学。一段时间,宇航员在国际空间站在轨道实验室进行了过多的创新实验从不同的组织。

例如,世界上第一个EUV-based光刻实验最近在国际空间站上进行,此举可能在太空中为先进的芯片制造奠定基础。

11月2日,2019年,诺斯罗普·格鲁曼公司的天鹅座宇宙飞船发射来自弗吉尼亚州瓦勒普斯飞行基地。从航天器有效载荷或实验Astrileux国际空间站。进行了载荷与科学发展中心(属于接近)和Nanoracks空间。宇宙飞船携带20多个其他载荷。

NG-12任务发射火箭,弗吉尼亚州瓦勒普斯岛11月2日,2019年信贷:Jan Van Schoot博士

从Astrileux载荷,从去年11月国际空间站宇航员进行了光刻实验的外部平台轨道实验室。实验围绕Astrileux新EUV光学镀膜技术。这个实验的目的是确定是否可以捕获太阳能EUV辐射使用Astrileux EUV涂料。这些材料的基础光学和镜子的EUV光刻工具13.5纳米波长。

实验证明是成功的。结果,材料Astrileux有一天启用一个新类空间的工具。它还为未来在太空EUV-based光刻奠定了基础,利用太阳能辐射光源。

尽管如此,最初于2000年投入商业运行,国际空间站是一个模块化的空间实验室。国际空间站是在美国太空机构之间的合作努力、俄罗斯、日本、欧洲和加拿大。在国际空间站,宇航员在太空生物学进行科学实验、天文学、气象学和物理。

芯片制造和组件是兴趣的另一个主题空间。延长人类寿命的“目标在空间超出1000天由电子制造业受益的生态系统,支持本地化,自助社区登上国际空间站,“说Supriya贾斯瓦尔,在Astrileux首席执行官。”需要的基础上能够快速的获取电子通过宇航员创造了新的功能和能力登上国际空间站,启用新的计算能力和性能,创建新的智能设备的能力,并迅速修复过时或损坏电子设备,可能发生在高风险业务。”

很难想象,一个全面的工厂有大量EUV工具会在国际空间站的建造,甚至在月球或火星。但是在将来,可以想象,一个小规模的工厂或者mini-fab开发的空间。

为此,航天器或太空殖民地需要3 d打印机和工厂的工具。光刻硅片需要模式。这就是与Astrileux合作,属于接近和Nanoracks进来。的经理是属于接近空间站的美国国家实验室,美国政府资助的实验室。

Nanoracks,航空公司已经安装了两个研究平台对国际空间站的美国国家实验室。每个平台拥有16在立方体卫星有效载荷形式因素,根据Nanoracks。每个立方体卫星的有效载荷是4英寸x 4英寸x 4英寸。

的实验中,Astrileux设计载荷,成立Nanorack的立方体卫星。立方体卫星包括Astrileux内部和外部组件的负载。

去年11月,空间站宇航员安装Astrileux载荷的气闸,它自动加载到一个外部的平台。然后,实验被激活。立方体卫星被暴露在太阳的一部分。的目标是捕获足够的太阳辐射使用Astrileux EUV涂料。该项目研究了EUV材料可能辐射降解在极端环境中生存下来。

在实验中,Astrileux材料成功执行的EUV波长范围(10 nm-20nm)。“Astrileux创建新的EUV光学涂层,可以生存在一个极端的辐射环境中高效地捕获EUV辐射在13.5 nm和其他EUV波段,”贾斯瓦尔说。

考虑到成功的结果,这些材料有一天可以在多个应用程序中使用。首先,它铺平了道路空间仪器的新类可以捕获EUV辐射。“Astrileux新EUV光学为新设计的光学系统提供了基础用于太空探索、太阳辐射成像,地面望远镜,卫星系统和空间系统,”贾斯瓦尔说。

有其他新的和未来的应用程序。“这个实验的目的是为电子制造奠定基础在7海里和更小的空间,”贾斯瓦尔说。“Astrileux负载措施和捕捉EUV光刻波长的太阳辐射13.5 nm,绕着地球。通常情况下,一种EUV光刻工具与一个强大的光源用于模式在所需的晶片晶圆的吞吐量。然而,这种载荷措施和捕捉自然太阳能EUV辐射,可用于硅片模式。”

而传统的EUV光学可能需要超过100天模式单一晶片,Astrileux光学可以最终减少模式时间少于10小时。这反过来使晶片模式和制造一个小社区的空间一个可行的概念。

接下来是什么?在地球上,与此同时,一些铸造厂EUV光刻进入生产7与3和5 nm纳米研发。Astrileux新EUV涂料也适合EUV光刻扫描仪在生产晶圆厂。

化学在太空
另外,2020年4月,无人SpaceX的龙飞船加州海岸的溅落。飞船带回几十个由国际空间站的美国国家实验室的实验研究。

飞船最初推出3月6日之前,花了30天停泊空间站返回地球。

在一个实验中,空间探戈和波士顿大学开发了一个平台,支持在轨的化学反应。波士顿大学分为研究小组选择了国际空间站国家实验室开发流化学反应堆系统应用空间。

研究小组研究了微重力对合成化学反应的影响。这反过来是一个一步按需生产的化学物质和材料在空间。

连续流技术促进目标分子的合成和药物化学,分为研究小组。流化学使反应一直是富有挑战性的开展,根据集团。

在国际空间站上,实验在反应堆系统中,这是一个扩展现有的液-液分离单元分为研究小组开发的。化学物质和溶剂都封装在油管,使安全处理的有机化学物质空间。

进行了三个实验。一个涉及水性反应的混合效率。另一个涉及两相的反应。第三个实验涉及更复杂的合成反应。

“空间探戈与国际空间站国家实验室,我们已经开发出一种流化学平台,为化学界提供了一个安全的方法来研究微重力对化学反应的影响,”波士顿大学的首席研究员艾伦分为解释道。“这些早期的努力至关重要,因为我们识别潜在影响微重力的合成和制造医药、材料、和生物制剂。这也将提供一个蓝图如何最好地实现合成化学对人类进入太空的扩张。”

”安装“化学反应器系统”在国际空间站科学国家实验室代表了一大步,一个更大的社区,一个用于化学”说空间站科学国家实验室主任肯尼斯·新疆圆柏合作。“第一次,我们将有能力对化学转换和利用微重力的影响能够动态地改变条件应用于过程。”