为什么变形镜头如此重要的EUV和昆汀·塔伦蒂诺。
昆汀·塔伦蒂诺和ASML有什么共同点呢?变形的眼镜。
产生的光学图像椭圆变形镜头,而不是圆的,沿着水平和垂直轴与不同的放大。塔伦蒂诺使用65毫米变形镜头电影可恶的八屏幕,一些影院也使用他们的电影。这是自1966年以来第一小说特性来使用此格式。
变形的历史镜头在半导体制造更杰出,但Jan van Schoot和同事在ASML和卡尔蔡司相信有令人信服的论据在他们的支持。打印sub-8 nm半个球场特征,他们说,这个行业需要EUV镜头与一个更大的数值孔径比当前0.33 NA标准。然而,提高数值孔径会增加入射光的角度。进一步,EUV使用反射光学,出站和入站光路径在一个元素可以交叉。这两个因素造成阴影,减少图像的对比。可能需要更多的源能力来获得足够的曝光,一个严重的问题因为EUV吞吐量已经电量有限。
增加了图像放大从4 x 8 x帮助,通过减少入射光角度。假设面罩尺寸保持不变,然而,增加8倍的放大图像字段长度只有0.25 x。与4 x尽可能多的接触领域覆盖相同的晶片面积,吞吐量急剧下降。研究人员估计,系统开销时间——所需的时间只是面具,晶片阶段,将增加16 x。更糟糕的是,这样一个系统的吞吐量将由时间开销;增加电源提供小吞吐量将从中受益。
这是变形镜头进来的地方。增加放大是只需要在水平方向(扫描)。所以,ASML蔡司集团提出了一个8 x / 4 x变形镜头系统,给anti-shadowing的好处放大,同时减少字段大小增加到0.5倍,而不是quarter-field。时间仍然会增加开销,但只有四倍,将抵消的优势提高图像对比。
可恶的八现在在影院,让观众评价失真的镜头,但没有这样的EUV眼镜已经建成。然而在模拟,8 x / 4 x变形镜头实现光学性能与标准的8 x high-NA光学。
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他们为什么不从变形的开始吗?它会避免很多困难到现在. .