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非传统的几何图形的电阻提取的新方法

2 d压裂如何提供及时准确的结果。

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非常规金属结构已经开始出现在集成电路(ic)和增加规律,原因很多。集成的摄像机和图像识别功能日益增长的需求推动了需要组件(如高质量的CMOS图像传感器与低噪声、高动态范围和低功率。技术扩展也导致增加使用非传统的结构作为设计师试图最大化设计区域。

那么,确切地说,是一个非传统的结构?这个术语通常是指大型金属结构广泛或多个广场形状相对狭窄的金属相比,通常用于信号路由。

历史上,设计师用一场解算器提取阻力在这样的大型金属结构,但现场解决者往往不能很好地集成在集成电路设计流程,并且需要长期运行时,不适合全芯片的验证。使用这些几何图形稳步增长,设计师正在寻找更有效的抵抗萃取过程和工具,提供及时准确的结果对这些非常规结构。

电阻测量的一个简短的指南
互连电阻测量在一个集成电路设计是一个重要的验证参数用于确保电路的可靠性。集成电路布局和物理验证期间,设计师必须电阻测量值之间的不同的物理布局(探针)点。这些点对点(P2P)阻力值是用来验证布局符合电气设计标准和优化实际的物理设计布局。这些阻力参数也被用来评估设计可靠性的条件下,如电流、静电放电(ESD)路径,确保产品寿命和性能满足设计和市场预期(图1)。


图1所示。验证低电阻路径用于避免静电充电设备模型(CDM)失败。

以下步骤代表基本过程用于确定互连金属的P2P阻力:

  • 提取物理参数(高度、宽度、长度)为每一个金属层
  • 骨折(段)大型结构布局成更简单的多边形
  • 提取每个段阻力值
  • 段之间创建一个电阻网络的P2P计算总阻力

让我们仔细看看压裂的一步,因为这正是过程分解为非常规金属结构。

压裂
压裂过程中提取发动机分解复杂的布局形状分成小段(以下当前的流动),和分配一个电阻值根据骨折段长度,宽度,和薄层电阻的金属层。每个分配阻力值称为电阻器的身体(r-body)。电阻网络通常被称为一个r-bodies链,因为它包含了小断裂的几何图形,将电阻。

压裂是最常见的一维(1 d)技术用于电阻提取,作为常规布局是高效的多边形,返回准确的结果没有创造太多r-bodies在两个方向。1 d压裂划分在一个维度创建一个多边形链段(r-bodies)每个r-body都有一个主要的宽度(图2)。


图2:创建一个包含四个r-bodies电阻网络来提取P2P点A和B之间的电阻。

然而,对于布局包含非常规大/宽的金属结构,多个P2P所需不同探测点之间的电阻测量电阻的精确提取。因为1 d压裂压裂提高性能,简化了测量电阻不足这些非传统的几何图形。虽然解决领域可以做这项工作,使用这些结构的增加意味着设计公司通常不能投资所需的时间和资源领域解决计算如果他们想要的任何希望会议tapeout时间表。

答案吗?为什么,当然,二维(2 d)压裂。一个相对较新的方法,2 d压裂裂缝中的金属结构两个方向r-bodies创建一个网格。2 d压裂提供精度为这些非传统的结构类似于从场解算器获得的结果,但在运行时快得多。图3显示了两个二维的例子压裂在非传统的几何。在图3(一个),1 d和2 d压裂用于提取点到点之间的电阻a - b, a - c和模拟。图3 (b)只需要2 d压裂为准确提取的点对点创建一个电阻网阻力值。


图3:2 d压裂创建一个电阻网精确测量P2P阻力在非传统的金属结构。布局(a)使用1 d和2 d压裂,而(b)使用2 d压裂。

电子设计自动化(EDA)工具,如导师的Calibre PERC可靠性平台可以提供增强的能力,使自动选择合适的压裂技术基于所选择的金属结构和指定的探测点。使用一个自动压裂过程不仅有助于确保更准确的P2P电阻测量和仿真,但也减少运行时。

结论
准确地测量集成电路设计中的互连电阻基本保证电路性能和可靠性。如果你发现自己工作越来越多使用非常规金属结构的布局和多个探测点,提高电阻测量2 d压裂技术可以帮助您提取P2P电阻快速、准确地在你的整个布局。与应用程序现在医学从汽车安全空间,很快让你的设计市场,与自信,是成功的一个重要元素。

要了解更多,请阅读我们的白皮书”准确、快速P2P电阻提取非传统的几何图形”。



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