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探针辅助铝局部掺杂到硅衬底


“本文讨论了一种在纳米尺度物理结构中编码信息的确定性掺杂放置技术的快速、大规模集成的发展。掺杂结构继承了相同的和可定制的射频(RF)电子签名,可以利用为标签项目的唯一识别特征。这将允许任何制造…»阅读更多

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