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生产时间:7月15日


Mapper光刻已经达到了一个重要的里程碑,在其不断推动多光束,直写光刻进入主流。这家总部位于荷兰的公司最近在法国研发机构CEA-Leti安装了最初的预生产工具。该工具被称为Matrix 1.1,是一种用于直接写入应用的多波束电子束系统。在……»阅读更多

本周回顾:制造业


随着功能尺寸的不断缩小和新设备架构的引入,IC行业将需要新的突破。事实上,特征尺寸很快就会有几个原子量级的公差。对于最先进的结构,传统的等离子蚀刻和沉积工艺无法满足这些要求。因此,该行业将需要工具…»阅读更多

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