标签:将嵌段共聚物加

为什么DSA 7海里和低于成本效益吗
通过拥有一系列马- 7月30日,2015 -评论:0

即将到来的7海里流程节点提出了严峻的挑战对印刷适性和成本。7海里和下面,多模式是必需的,使生产过程更加昂贵,要求更多的面具。控制成本,任何可供选择的技术提供等价收益率应该探索模式较少的步骤。一个很有前景的选择是使用定向自组装(…»阅读更多

DSA缺陷继续下降的趋势
通过凯瑟琳德比郡- 06年4月,2015 -评论:0

正如前面所讨论的那样,大多数的早期缺陷指示自组装(DSA)过程是由于粒子和其他污染物,并可能是由于不成熟的流程和材料。制造商考虑是否要把DSA融入特定的技术节点,他们需要向自己保证,适于生产的产量可以实现。最近的研究在…»阅读更多

结合DSA
通过凯瑟琳德比郡12月- 22,2014 -评论:0

本系列之前的文章显示,定向自组装可能是一个有前途的替代制造商寻求缩减特征尺寸在面对停滞不前曝光工具路线图。它比其他一些更简单的倍频技术,可以实现与现有的设备,并没有出现介绍自身不可克服的缺陷的问题。这n…»阅读更多

DSA的推进
通过凯瑟琳德比郡12月19日,2014 -评论:0

很难使DSA结构非均匀阵列。一个解决方案是打印在大面积光栅,然后使用“削减”面具,消除不必要的功能。所面临的挑战,是调整削减面具数组紧密间隔的特性,如FinFET的鳍晶体管层,可以要求极其苛刻的叠加规范。同时减少……»阅读更多

计算和控制DSA的缺陷
通过凯瑟琳德比郡11月- 13,2014 -评论:1

如果成功的半导体制造定向自组装,[gettech id = " 31046 " t_name = " DSA "]过程必须实现缺陷率符合sub-20nm设备节点的严格要求。到目前为止,他们还没有。然而,尚不清楚是否高的缺陷率代表一个真正的障碍,或者仅仅是任何新发展的一部分,不成熟的工艺……»阅读更多

DSA的关键
通过凯瑟琳德比郡10月- 16,2014 -评论:0

块共聚体最常用的定向自组装研究([gettech id = " 31046 " t_name = " DSA "]), PS-b-PMMA(保利(styrene-block-methyl丙烯酸甲酯)是一个很好的选择,因为这两个组件单体有相似的表面能量。电影的顶面接触有助于稳定域隔离,使其相对容易实现层状线条和空间p…»阅读更多

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