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Surfscan SP3 / Ax未成形的晶片检查系统

一个未成形的晶片检测系统可以检测这个解放军的工具。

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未成形的晶片检查系统用于处理资格,资格的工具,工具监控、外向的晶片质量控制,输入晶片质量控制和调试过程。了解更多关于从解放军的一个系统,识别缺陷和晶片表面质量问题影响芯片的性能和可靠性制造汽车,物联网,5 g,消费电子,工业(军事、航空航天、医疗)应用程序。这些检查系统支持IC、OEM、材料和基板制造资格和监控工具,流程和材料。使用DUV激光和优化检验模式,Surfscan SP Ax系统提供所需的灵敏度支持晶圆厂减少缺陷的策略。标准暗视野和可选brightfield检验模式同时运行,使捕获和产量至关重要的和潜在的可靠性缺陷类型的分类。建立在行业领先的Surfscan平台,Surfscan SP A2和A3检查员支持150毫米,200毫米和300毫米晶圆,可配置,灵活满足一系列的成本和性能目标应用程序。

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