利用等离子体比早些时候方法使得啤酒快一千倍。
原子层蚀刻(ALE)是当今最先进的蚀刻技术在生产。在这个角度看,我们描述啤酒相比,长期以来传统蚀刻技术,涉及到古老的蚀刻艺术背后的基本原则。一旦认为太慢,我们展示如何利用等离子体比早些时候方法使得啤酒快一千倍。时如果是啤酒的案例研究材料,前景更强力束缚的材料,如C,助教,W和俄文。啤酒优势讨论中,我们将介绍一个啤酒的好处和潜在的广泛应用的啤酒表面趋于平缓的平滑效果。最后,关于其的对应的原子层沉积(ALD),我们将讨论肾上腺白质退化症患者在现实世界解决啤酒和挑战sub-10纳米技术节点。
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这篇文章发表在《物理化学》杂志上
期刊。化学。列托人。2018、4814−4821
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