介绍方法的反馈质量位移是空的力量。
我们提出一个低于赫兹谐振频率MEMS谐振器可用于地震检波器。低谐振频率是通过一个电动可调弹簧的弹簧常数超小。一般来说,很难电调整谐振频率在接近于零的弹簧常数,因为频移/电压将偏离零弹簧常数的极限。为了规避这个问题,我们提出一个多步骤的电调优方法。我们通过模拟显示,共振频率可以调整0.008 Hz / mV甚至低于赫兹地区。小弹簧常数,然而,降低了冲击地震检波器的鲁棒性和动态范围。为了防止这一点,我们采用的介绍方法质量位移是空的反馈力。我们表明,位移可以从生成的电压反馈获得的力量。
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