应用覆盖与泽尼克多项式的HVM环境建模和控制


JawWuk榉,明宇SK海力士金和JuHan李;杰里米•Nabeth约翰·c·罗宾逊和比尔KLA-Tencor皮尔森;和Sanghuck正本,Hoyoung Heo KLA-Tencor韩国。文摘缩小技术节点和较小的利润需要改善光刻叠加控制过程。一般来说,覆盖测量结果建模与笛卡尔多项式函数intra-field……»阅读更多

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