DSA,多波束取得稳定的进步


半导体工程坐下来讨论当前和未来的光刻技术挑战与劳伦疼痛,光刻CEA-Leti实验室经理。以下是摘录的谈话。在光刻SE: CEA-Leti两大项目。一个在定向自组装(DSA),另一个是在多波束电子束。让我们开始与多波束。什么是Leti在多波束和做什么……»阅读更多

字母汤的DSA:高风险游戏


由马克LaPedus定向自组装(DSA)是潜在的使用在半导体生产取得进展,但该行业必须做出一些重大的进步有时忘记,无名segment-materials。DSA是一个互补的模式技术,利用嵌段共聚物材料,使球在芯片设计。但是今天的嵌段共聚物基于聚(MMA……»阅读更多

新帖子→
Baidu