演示的功能虚拟晶片过程建模和虚拟计量


技术论文题为“回顾虚拟晶片过程建模和计量先进技术发展”是由研究人员发表Coventor Inc .,林的研究。文摘:“半导体逻辑和内存技术发展继续推动过程复杂性和成本的限制,尤其是在产业迁移到5 nm节点和超越。优化p…»阅读更多

使用流程建模期间加强设备一致性自对准四模式


尽管越来越感兴趣EUV光刻,自对准四模式(SAQP)仍然是许多技术优势模式一致性、简单性和成本。尤其如此,非常简单和周期模式,如线&空间模式或孔阵列。SAQP的最大的挑战是本质上不对称的面具的形状。这种不对称可以创建结构……»阅读更多

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