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使用流程建模期间加强设备一致性自对准四模式


尽管越来越感兴趣EUV光刻,自对准四模式(SAQP)仍然是许多技术优势模式一致性、简单性和成本。尤其如此,非常简单和周期模式,如线&空间模式或孔阵列。SAQP的最大的挑战是本质上不对称的面具的形状。这种不对称可以创建结构……»阅读更多

加速干燥腐蚀剂腐蚀过程中特性


在干旱的腐蚀,加速离子的轨迹是不均匀和非均匀,由于与气体分子碰撞和其他随机热效果(图1)。这将影响腐蚀的结果,因为晶片上的腐蚀率在任何时候将随立体角可见大部分室和离子通量的角度范围。这些非均匀和功能依赖e…»阅读更多

创造更高密度的3 d与非结构


3 d NAND闪存使新一代的非易失性固态存储有用的几乎所有电子设备的成因。3 d NAND可以实现数据密度超过2 d NAND结构,即使伪造后一代技术节点。用于增加存储容量的方法有潜在重大权衡在内存中存储、结构性sta……»阅读更多

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