整片强迫症计量


由:丹尼尔Doutt *, Ping-ju契那发电厂,Bhargava Ravooria,参选k . Trana埃坦Rothsteinb, Nir Kampelb,理Tamamb,有效率Aboodyb, Avron现场,Harindra Vedalac文摘光学临界尺寸(OCD)光谱学是一个可靠的、非破坏性、高通量测量计量技术和过程控制,广泛应用于半导体生产设备(f……»阅读更多

计量选项增加设备的需求转变


半导体晶圆厂正在采取一种“甲板上所有的手”的方式来解决艰难的计量和收益管理的挑战,结合工具、流程和其他技术的芯片产业转型nanosheet晶体管在前端和后端异构集成。光学和电子束工具正在扩展,而x射线检查被添加在一个案子-…»阅读更多

通过汇业银行预测SAQP球场走了


新技术论文题为“贝叶斯辍学在深度学习神经网络逼近:分析自对准四模式”研究人员发表在IBM TJ沃森研究中心和伦斯勒理工学院。发现这里的技术论文。2022年11月出版。开放获取。Derren斯科特•d•哈莉·n·邓恩,艾伦·h·伽柏马克斯·o·布卢姆菲尔德,和马克Sh……»阅读更多

在基于机器学习方法来克服有限标记数据集光学临界尺寸计量


积极扩展的半导体器件,器件结构的日益复杂化,加上严格的计量误差预算推高了光学临界尺寸(OCD)的时间来解决一个关键时刻。机器学习(ML),由于其快速好转,已成功应用于强迫症计量作为替代解决传统物理…»阅读更多

Nanosheet场效应晶体管驱动计量和检验的变化


在摩尔定律的世界里,它已成为一个不争的事实,较小的节点会导致更大的问题。随着晶圆厂转向nanosheet晶体管,它正变得越来越有挑战性检测直线边缘粗糙度和其他缺陷由于这些和其他多层结构的深度和混浊。因此,计量更大的混合方法,与一些著名的工具移动……»阅读更多

人类的手:策划好的数据和创建一个有效的深度学习R2R大批量生产的策略


目前,半导体制造业使用人工智能和机器学习的数据,自动从数据中学习。有额外的数据,人工智能和毫升可以很快发现模式并确定相关性在各种应用程序中,最值得注意的是这些应用程序涉及计量和检验,无论是在制造业的前端…»阅读更多

加快研发计量过程


一些芯片制造商正在一些主要的变化表征/计量实验室,增加fab-like过程在这组帮助加速芯片开发时间。描述/计量实验室,通常根据雷达,是一组,研发组织和工厂使用。描述实验室参与了早期的分析工作next-generati……»阅读更多

有什么下一个AI在晶圆厂吗?


半导体工程坐下来讨论这个问题和挑战与机器学习在半导体制造业Kurt Ronse在Imec先进光刻项目主任;渔洞,高级营销主任到创新;数据科学家罗曼Roux Mycronic;和阿基》d2的首席执行官。以下是摘录的谈话。第一部分…»阅读更多

芯片制造3海里


选择铸造厂开始增加新的5 nm工艺研发的3海里。最大的问题是什么。2 nm节点的工作正在有条不紊地展开,但有许多挑战以及一些不确定性在地平线上。已经有迹象显示,铸造厂已推出3 nm生产计划几个月由于各种技术issu……»阅读更多

毫升是怎么被用于集成电路制造吗


半导体工程坐下来讨论这个问题和挑战与机器学习在半导体制造业Kurt Ronse在Imec先进光刻项目主任;渔洞,高级营销主任到创新;数据科学家罗曼Roux Mycronic;和阿基》d2的首席执行官。以下是摘录的谈话。第一部分…»阅读更多

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