寻找宏观缺陷:裸晶片检查的重要性


逻辑和内存半导体器件的方法的极限摩尔定律,层传输的准确性要求越来越严格。一个领先的硅晶片制造商估计50%的外延片供应逻辑节点将等于或小于7海里。这是本世纪初的大约30%。以满足极端的要求ultraviol……»阅读更多

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