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寻找宏观缺陷:裸片检测的重要性


随着逻辑和存储半导体器件接近摩尔定律的极限,对层传输精度的要求越来越严格。一家领先的硅片制造商估计,50%的逻辑外延晶圆供应将在等于或小于7nm的节点上。与本世纪初相比,这一数字增长了约30%。为了满足极端紫外线的要求…»阅读更多

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