保持EUV酷


已经清楚的很长一段时间,EUV光刻来源将是相当低效。laser-produced等离子体源(垂直距离)的概念涉及到加热液滴的金属锡高能激光产生等离子体。只有一小部分的能量激光将转换为光,而不是热,不到1%的等离子体发出的光将在EUV波段……»阅读更多

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