标签:深沟

深沟测量研究RIE滞后效应
通过心理契约- 07年6月,2022 -评论:0

需求的准确表征高纵横比等几何图形缩小差距,深沟或深孔出现在许多技术和产业。各种计量技术已经用来满足这些需求。这种类型的候选人计量中,三维光学分析表征在过程控制变得越来越普遍。由于……»阅读更多

超级区域材料海沟和通过数组
通过布鲁尔科学——5月21日,2020 -评论:0

由于设备设计尺度和变得更加复杂,好控制模式和转移是不可或缺的步骤。整平的深沟,通过阵列一直是一个挑战。纵横比继续增加,临界尺寸缩小,和典型的海沟填补计划不再能够满足填充和整平的要求。传统设计的自旋对碳(SOC)米……»阅读更多

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