破坏性的研发

领先的大学研究人员在新的会议上展示了他们最有前途的技术，描述了从可持续金属集群技术(已经诞生了三家著名的初创公司)到基于共振的更精确MEMS设备检测的发展突破性研究技术会议和2014年SEMICON西部硅创新论坛。

俄勒冈州立大学金属集群化学在抗蚀剂，显示器和PV生成初创公司
迄今为止，俄勒冈州立大学(OSU)可持续材料化学中心(Center for Sustainable Materials chemistry)的金属簇化学领域出现了三家有趣的初创公司，用于下一代光阻剂、显示屏背板和太阳能电池。俄勒冈州立大学的研究人员正在开发一种无机材料，可以将溶液涂在水中，形成与传统沉积(CVD类型)薄膜质量相当的薄膜，并且可以像聚合物一样设计具有特定性能，并具有一些类似聚合物的特性。无机金属可以从水溶液中回收和循环。

资料来源:俄勒冈州立大学可持续材料化学中心

Inpria将这些金属氧化物分子用于EUV和其他先进节点光刻的高分辨率抗蚀剂。用更小的无机分子取代传统光刻胶中长而纠结的聚合物分子，可以使边缘更干净，减少7nm和10nm特征的折叠。首席执行官Andrew Grenville在硅创新论坛(SIF)上报告说，在10nm线和空间上，采用这种抗蚀剂的线宽粗糙度是传统聚合物产品(0.7nm vs. 1.5nm)的一半。应用材料(Applied Materials)、英特尔(Intel)和三星(Samsung)的风险投资部门都对该公司进行了投资，并将其列为令他们感到兴奋的半导体开发范例。

初创公司Beet使用了Cu3SbS4的金属簇，这种分子旨在优化其光吸收，从而制造出比传统CdTe或CIGS薄膜更高效的太阳能电池。该中心主任道格·凯斯勒说:“薄层薄膜的效率为20%，预计为31%。”“我们认为它有很大的潜力。”

与此同时，Amorphyx公司正在将一种显示背板技术商业化，利用一种通过PE-CVD金属-绝缘体-金属器件的电子隧穿技术，实现更快的开关速度，并可能显著降低成本。首席执行官兼总裁约翰·布鲁尔(John Brewer)说，该公司目前正在台湾的工研院与三家亚洲显示器制造商共同开发这项技术。在今年SEMICON West的SIF上，风投们将Amorphyx选为最佳投资赢家之一。

佐治亚理工学院驱动MEMS谐振检测技术
在MEMS方面，佐治亚理工学院继续开发新的传感机制和设备，利用振动光束的共振频率来检测化学物质。光束在装置平面内以高频来回振动，因此它不必穿过空气，因此光束涂层吸收的化学物质的质量的微小变化会改变其频率。在突破技术会议上，电子和纳米技术研究所的临时主任奥利弗·布兰德报告说，该设备可以在没有预浓缩的情况下检测到~1ppm的甲苯。

Farrokh Ayazi的团队创造了Qualtre BAW谐振陀螺仪，现在他们正在研究一种新的酒杯形陀螺仪，并将惯性传感器与计时设备、磁力计和压力传感器集成在同一设备上，使用相同的技术，实现5-10分钟的无参考导航能力。他们还在开发封装方法，将玻璃回流成蚀刻图案，用硅连接玻璃填充，或牺牲聚合物，覆盖涂层，然后被后期加工的热量分解。该小组还在开发一种低温工艺，在CMOS电路上构建一个微加工超声波电容成像仪，这样整个紧凑的单元就可以安装在导管的尖端。

大学晶圆厂现在提供原子界面成像和硅光子学原型
大学的研究晶圆厂比以往任何时候都更渴望将他们的工具出租给工业界以支付一些费用，并且有越来越复杂的设备可以共享。亚利桑那州立大学(Arizona State University)有一台带有一系列非圆形透镜和偏转板的电子显微镜，可以校正常见的球面像差，甚至可以清晰地成像通常存在问题的原子界面。该工具被放置在一个温度可控、没有电子场的房间里，在两米高的水泥地板上，以消除振动。

华盛顿大学晶圆厂主要专注于当地的生物技术领域，其Si-EPIC晶圆代工厂的硅光子学快速原型服务正在快速增长。但是华盛顿纳米制造设施(WNF)主任Michael Khbeis博士指出，这些新兴产品的实际芯片加工实际上相当常规，所以他一直在寻找来自外部公司的具有挑战性的加工问题。他说:“我们在外部寻找那些无法在普通晶圆厂运行的奇怪材料的难题。”“我们想要揭穿你不能相信大学工具的事实。我们一直在努力研究如何防止交叉污染。”

保持研究型大学的领先地位是创新的关键
德克萨斯大学奥斯汀分校(University of Texas at Austin)创新学教授鲍勃·梅特卡夫(Bob Metcalfe)在全球半导体产业发展大会的主题演讲中指出，大学在推动半导体产业发展的研究方面可能会发挥越来越大的作用硅创新论坛。他指出，研究也来自企业实验室和政府实验室，但通常只有企业垄断才能负担得起研究费用，而垄断通常对经济不利，而政府研究实验室的效率也不高。这意味着最好的解决方案可能是政府资助顶尖研究型大学的竞争研究人员。创新还需要能够扩大规模并将产品从实验室推向市场的企业家，以及能够筹集资金并将其引向可能成功的公司的风险资本家。梅特卡夫说:“这也需要愿意购买产品的早期采用者。”“祝福早期采用者。但现在的问题是，经济如此糟糕，早期采用者无法承受，所以整个创新渠道都被堵塞了。”

大学和研究机构在帮助加快技术进步方面越来越重要。新的突破研究技术会议和SEMICON West的第二届SIF展示了当前和未来的活动，以及来自大学、行业和财团合作努力的最新创新和研究。SEMI继续在使用SEMICON平台突出常见问题、新兴趋势以及研究和企业解决方案方面发挥作用。有关SEMI的更多信息，请访问http://www.semi.org，有关即将举行的SEMICON博览会，请访问http://www.semiexpos.org/．