启动有一个新的前沿技术在计量基于微分霍尔效应显微镜。
创业活跃层参数化Inc .) ALPro 50计量工具提供了“电性质的原子水平的深度剖析”——自动处理直接的数据传输。
微芯片的不断小型化和奈米晶片已经推动使用原子层沉积和原子层腐蚀过程在半导体制造业。小型化和新材料的使用,该行业需要电气特性的半导体层在原子级分辨率、快速、经济,使先进的过程开发、建模和值得信赖的生产控制。
高山计量工具可能类似于二次离子质谱(SIMS),但是是独特的在提供高度自动化测量半导体内的电气性能水平或层,联合创始人兼首席执行官Bulent Basol说。ALPro 50使用微分霍尔效应显微镜(DHEM),分三个阶段进行。
Abhijeet AJ乔希,高山的另一个联合创始人兼首席技术官,曾与西蒙•Prussin谁发明了连续阳极氧化技术微分霍尔效应测量,DHEM的前兆。
在高山的独特技术将需要一些时间实现市民的广泛使用之前,该公司有信心,半导体行业将需要这样的技术在处理材料如硅、锗、硅锗合金和III-V化合物。
“这是一个计量工具和计量技术与能力的深度剖析电特性,包括载体浓度和流动,“Basol说。
高山大约两年前开始的,Basol说,作为一个项目开始在加州大学洛杉矶分校的实验室。它对2016年底进入商业化阶段。建立了高山,Scotts山谷,在2017年初。启动加入硅催化剂孵化器项目。去年AL50分析器持续发展,与坚毅不屈实验室Basol说,最终将一阶的商业工具。ALPro 50被安装在森尼维耳市的坚毅不屈的设施,加利福尼亚州,2018年5月,现在可供客户晶片测量。
首席执行官Bulent Basol PhD-EE (UCLA) /创始人之一活性层参数化
Basol拥有超过30年的经验在半导体和太阳能电池产业。企业家参与了几个创业多年来,包括国际太阳能电力技术(ISET) NuTool SoloPower。NuTool被ASM国际2004年收购。Basol持有发行超过167项美国专利,发表了100多篇论文在半导体器件,半导体加工设备和薄膜的过程。
Basol的联合创始人兼首席技术官Abhijeet乔希,有6个专利申请等待。Joshi曾参与忒伊亚科学,开发人员MEMS-based设备材料表征和高能光源。塔拉(周杰伦)Ashjaee是高山的工程副总裁。
公司董事会的顾问包括丹尼尔•Armbrust硅催化剂的共同创始人,顾问和企业家Izak Bencuya,营销顾问约翰·o .富有远见的阿里Keshavarzi宝蓝和技术。
“我们是一个精简的公司,”Basol笔记。“我们基本上是工程。我们有7人,所有很好的半导体。制造、测试,都在我们的监督下。”
他补充说,“这很难是一个硬件公司这些天。”
高山自筹资金约为130万美元,与美国国家科学基金会小企业创新研究项目拨款,Basol说。“我们严重与几个潜在客户,做演示行业最大的公司,”他说。“我们正在努力让人们知道这种技术现在可以在市场上。”
“现在我们有一个基本的工具的功能,我们主要是研究开发新的应用程序,”Basol笔记。“目前,我们已经开发出的硅,锗,锗和硅合金,这些材料我们可以做深度分析,轻松自如地。越来越多的,我们发现自己来自客户的请求III-Vs感兴趣,尤其是氮化物和非常薄的多晶硅层。我们看到在2019年初在这些应用程序,这将真正为ALPro进一步开放空间。我们与海外客户谈判工具销售明年初。我们认为这将实现。然后,当然,演示,我们想展示这个工具的功能和它的值,具体的活动,让顾客参与。因此,2019年将是业内的一年多的人会听到关于这种技术和这个工具能做什么。我没有任何疑问,更多的应用程序会弹出方式。这就像模拟人生。 We can imagine that this could be a standard like SIMS in the industry…It offers great value to anyone to evaluate electronic devices and for developing processes to grow the semiconductor layers for such applications. 2019 will be exciting for us. We just introduced the tool this year, so many people still are not aware about the capabilities.”
Joshi说,“这个工具的主要关键是提供详细的深度资料载体浓度或激活水平。与西姆斯相比,我们可以得到一个直接测量的不活跃的掺杂物的一部分。然后我们收集流动和电阻率,。我们是世界上唯一的工具,可以提供这些数据在事实上决议。”
Basol补充道,“当公司的规模,我们故意保持光。我们没有做任何活跃的投资生产设施,或ERP,这样的事情。所有半成品、总装和测试外包。我们主要提供工程资源。我们保证服务。我们有一个代表的两个区域,我们在与另一个谈判代表在日本。为美国我们将照顾它,我们照顾它。”
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