为纳米级电子器件设计选择性沉积的过程


技术论文题为“量化45纳米二氧化钛薄膜的均匀性和选择性一半音高模式使用Area-Selective沉积超级周期”由研究人员发表在IMEC,北卡州立大学和KU鲁汶。文摘:“Area-selective沉积(ASD)显示了巨大的希望在纳电子学sub-10纳米制造,但是中国仍面临着巨大的挑战在scali…»阅读更多

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