EUV在下面3 nm和不确定的未来


几个铸造厂已经极端紫外线(EUV)光刻投入生产在7和5 nm,但是现在这个行业正在准备下一阶段的技术3 nm和超越。在研发,行业开发新EUV扫描仪,面具和抵制为下一个节点。3 nm定于2022年,其次是2海里以后一年或两年。尽管如此,它需要巨大的资金……»阅读更多

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