在光刻和面具


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多模式问题7海里,5海里


继续依靠193海里浸没式光刻与多个模式变得更加困难,7和5 nm。在各种分辨率增强技术的帮助下,光学光刻用深紫外准分子激光是主力模式技术在工厂自1980年代初。它是如此紧密地联系在一起的延续(getkc id = " 74 "评论= "莫…»阅读更多

下一代光刻技术在哪里?


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更多的问题之前


半导体工程Lars Liebmann坐下来讨论未来的扩展问题,IBM研究员;董事总经理亚当品牌晶体管技术应用材料;卡里姆而在高通公司工程副总裁;和斯班纳,一个研究员在GlobalFoundries先进技术架构。SE:我们开始听到谈论八倍的模式。我们……»阅读更多

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