下一代芯片推出高选择性蚀刻技术


几家蚀刻供应商开始推出下一代选择性蚀刻工具,为新的内存和逻辑设备铺平了道路。2016年,应用材料公司是第一家推出下一代选择性蚀刻系统(有时被称为高选择性蚀刻)的供应商。现在,Lam Research, TEL和其他人正在运输具有高选择性蚀刻功能的工具,为未来的设备做准备。»阅读更多

精密选择蚀刻和路径到3D


缩放(缩小晶体管和存储单元等芯片中的微型设备)从来都不是一件容易的事,但要使下一代先进的逻辑和存储设备成为现实,就需要在原子尺度上创造新的结构。在处理如此小的维度时,几乎没有变化的空间。更复杂的问题是,需要去除材料的各向同性,或者,不…»阅读更多

3nm的大麻烦


随着芯片制造商开始在市场上推广10nm/7nm技术,供应商也在为开发下一代3nm晶体管类型做准备。一些公司已经宣布了3nm的具体计划,但预计向这一节点的过渡将是一个漫长而坎坷的过程,充满了一系列技术和成本挑战。例如,一个3nm芯片的设计成本可能会超过一个eye-p…»阅读更多

Baidu