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精密选择蚀刻和路径到3D


缩放(缩小晶体管和存储单元等芯片中的微型设备)从来都不是一件容易的事,但要使下一代先进的逻辑和存储设备成为现实,就需要在原子尺度上创造新的结构。在处理如此小的维度时,几乎没有变化的空间。更复杂的问题是,需要去除材料的各向同性,或者,不…»阅读更多

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