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EUV薄膜终于准备好了


经过一段时间的延迟,EUV薄膜正在出现,并成为关键芯片大批量生产的必要条件。与此同时,极紫外(EUV)光刻的薄膜景观正在发生变化。作为EUV薄膜的唯一供应商,ASML正在将这些产品的组装和分销转移给三井。其他人也在为下一代EUV开发薄膜。»阅读更多

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