EUV到来,但更多的问题


EUV已经到来。经过几十年的发展和数十亿美元的投资,EUV光刻占据中心舞台在世界领先的晶圆厂。20多年ASML极端紫外线光刻技术研究项目开始后,和近十年后首次接触预生产工具,公司预计在2019年交付30 EUV曝光系统。这几乎是房子……»阅读更多

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