3 d内存结构:常见的孔和倾斜计量技术和能力


技术论文题为“高纵横比的内联计量孔倾斜和中心线用小角x射线散射”转变是力量Nano和林的研究人员发布的研究。文摘:“高纵横比(HAR)结构在三维nand内存结构具有独特的过程控制的挑战。用于制造的腐蚀通道几个微米深的洞…»阅读更多

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