研究报告:11月29日

通过苏珊兰博- 2022年11月29日-评论:0

一种基于地面的全球导航卫星系统(GNSS)的新想法，可以在地面上使用非常精确的国家原子钟，这可能有助于城市环境中的自动驾驶汽车到达它们要去的地方。来自代尔夫特理工大学(TU Delft)，阿姆斯特丹自由大学和VSL的研究人员已经建立了一个混合光无线移动网络的原型。»阅读更多

用于多光谱照相的EUV聚焦光束的空间熵裁剪

通过技术文件链接- 2021年7月27日-意见:0

纳米光刻高级研究中心(ARCNL)和阿姆斯特丹自由大学开发了一类新的衍射光学元件，为EUV显微镜的更广泛使用铺平了道路。衍射光学可用于精确控制光波前，即使在没有透镜等折射元件的情况下也是如此。例如，c…»阅读更多

通过马克LaPedus- 2021年7月20日-意见:0

ESOL开发了一种独立的干涉极紫外(EUV)光刻工具，用于研发应用。该系统被称为EMiLE (EUV微干涉光刻设备)，主要用于加速EUV光抗蚀剂和相关晶圆工艺的开发。该系统与ASML的EUV光刻扫描仪不同，后者是…»阅读更多