标签:光学临界尺寸计量

整片强迫症计量
通过新星- 06年6月,2023 -评论:0

由:丹尼尔Doutt *, Ping-ju契那发电厂,Bhargava Ravooria,参选k . Trana埃坦Rothsteinb, Nir Kampelb,理Tamamb,有效率Aboodyb, Avron现场,Harindra Vedalac文摘光学临界尺寸(OCD)光谱学是一个可靠的、非破坏性、高通量测量计量技术和过程控制,广泛应用于半导体生产设备(f……»阅读更多

在基于机器学习方法来克服有限标记数据集光学临界尺寸计量
通过上的创新- 07年9月,2022 -评论:0

积极扩展的半导体器件,器件结构的日益复杂化,加上严格的计量误差预算推高了光学临界尺寸(OCD)的时间来解决一个关键时刻。机器学习(ML),由于其快速好转,已成功应用于强迫症计量作为替代解决传统物理…»阅读更多

毫升是怎么被用于集成电路制造吗
通过马克LaPedus- 01年4月,2020 -评论:0

半导体工程坐下来讨论这个问题和挑战与机器学习在半导体制造业Kurt Ronse在Imec先进光刻项目主任;渔洞,高级营销主任到创新;数据科学家罗曼Roux Mycronic;和阿基》d2的首席执行官。以下是摘录的谈话。第一部分…»阅读更多

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