寻找3 d计量


在过去的二十年中,芯片制造商做了一个大胆而必要的决定选择[getkc id = " 185 " kc_name =“finFET”)作为下一个晶体管集成电路产业的体系结构。不过,随着时间的推移,芯片制造商发现finFET将工厂的一些挑战。沉积、光刻和蚀刻明显的障碍,但在计量芯片制造商也看到一个巨大的差距。事实上,…»阅读更多

等待3 d计量


由马克LaPedus多年来,计量设备能够满足供应商的要求传统的平面芯片。但现在工具厂商发现自己在新兴的3 d芯片时代,促使迫切需要一种新的3 d计量装置。3 d是一个笼统的短语,其中包括一系列的新架构,如finFET晶体管、3 d NAND和stacked-die……»阅读更多

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