改善EUV Si Hardmask性能通过湿化学功能化


在EUV光刻、旋涂硅hardmasks已经广泛使用不仅是腐蚀转移层,也是协助层增强抵抗的光刻性能。在这项研究中,我们将演示一种新颖的方式用旋涂硅hardmasks通过组合官能团通过溶胶-凝胶的方法。通过不同的浓度和类型功能g……»阅读更多

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