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技术论文

改善EUV Si Hardmask性能通过湿化学功能化

一种新颖的方式使职能化自旋对硅hardmasks通过官能团与通过溶胶-凝胶的方法。

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在EUV光刻、旋涂硅hardmasks已经广泛使用不仅是腐蚀转移层,也是协助层增强抵抗的光刻性能。在这项研究中,我们将演示一种新颖的方式用旋涂硅hardmasks通过组合官能团通过溶胶-凝胶的方法。通过不同官能团的浓度和类型的结构和属性hardmasks可以有效调整,尤其是在表面能、元素成分和硬度。

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作者一尘梁,安德里亚·m·查柯萨曼莎Oelklaus,伊桑•劳里说Veerle Van Driessche,伊万·r·Sedlacek明罗,斯蒂芬·m·Grannemann道格拉斯·j·格雷罗州所有从布鲁尔科学公司(美国)。

程序体积11326年的进步模式材料和流程37章;1132614 (2020)https://doi.org/10.1117/12.2551671
事件:有先进光刻技术,2020年,美国加利福尼亚州圣何塞



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