计量选项增加设备的需求转变


半导体晶圆厂正在采取一种“甲板上所有的手”的方式来解决艰难的计量和收益管理的挑战,结合工具、流程和其他技术的芯片产业转型nanosheet晶体管在前端和后端异构集成。光学和电子束工具正在扩展,而x射线检查被添加在一个案子-…»阅读更多

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