扩大材料精制腐蚀选择性计量


趋势在先进设备制造要求结合lithography-etching多模式序列和自对准多模式在亚波长尺寸最好形成设备的特性。EUV光刻(13.5海里)发展到大数值孔径和新薄抗拒,必须开发新的多重图像序列相互兼容的抗拒和近端层t…»阅读更多

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