下一个挑战:接触电阻


在芯片扩展方面,不乏挑战。扩大finFET晶体管和互连是当前和未来设备面临的最大挑战。但现在,该设备的另一个部分正在成为一个问题——接触。通常情况下,这种触点并没有得到那么多的关注,但业界开始担心触点中的电阻,或conta…»阅读更多

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