研究报告:4月4日

通过杰西·艾伦- 2023年4月4日-意见:0

名古屋大学和日立的研究人员开发了一种新的蚀刻方法，称为湿式等离子体蚀刻，它结合了湿式蚀刻的选择性和干式蚀刻的可控性。研究人员表示，该技术将使蚀刻复杂结构成为可能，如由钛(Ti)和铝(Al)组成的金属碳化物，如TiC或TiAlC, wh…»阅读更多

提高纳米片fet通道释放过程机械稳定性的内部衬垫工程

通过技术文件链接- 2021年8月28日-评论:0

“研究了纳米片fet制备过程中的机械应力。特别是，在通道释放过程中，由重力引起的不必要的机械不稳定，通过三维模拟详细介绍。模拟结果显示了悬浮纳米片的物理缺陷和纳米片厚度的影响。基于几何原理的内隔层工程»阅读更多

通过凯瑟琳德比郡- 2021年8月19日-评论:0

栅极全能fet之后的下一步还在研究中，但很可能会涉及到某种版本的堆叠纳米片。先进晶体管的设计是一种权衡。一方面，它需要更少的门电容来控制一个薄通道。另一方面，薄通道不能携带那么多的驱动电流。堆叠纳米片设计试图通过…来协调这两个目标。»阅读更多