达到硅NEMS表演与3 d印刷纳米机械谐振器


文摘:“极端在NEMS谐振器小型化提供了可能性达到前所未有的分辨率高性能大规模传感。这些非常低的极限检测相关的组合两个因素:一个小型谐振器质量和一个高质量的因素。所代表的NEMS的主要缺点是高度复杂的,多步,和昂贵的制造工艺……»阅读更多

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