文摘:
“NEMS谐振器的极度小型化为高性能质量传感提供了前所未有的分辨率。这些非常低的检测极限与两个因素的结合有关:小谐振腔质量和高质量因子。NEMS的主要缺点是高度复杂，多步骤和昂贵的制造工艺。已经开发了几种替代制造工艺，但它们仍然局限于MEMS范围和非常低的质量因子。在这里，我们报道了用3D打印方法制造具有高质量因子的刚性NEMS谐振器。经过一个热步骤，我们得到了由具有高杨氏模量和低阻尼的陶瓷结构组成的复杂几何打印器件，其性能与硅基NEMS谐振器一致。我们证明了快速制造NEMS器件的可能性，它是半导体谐振器作为高灵敏度质量和力传感器的有效替代品。”
找到开放获取这里是技术文件．公布的10/2021。
Stassi, S.， Cooperstein, I.， Tortello, M.等人。利用3D打印纳米机械谐振器实现硅基NEMS性能。Nat common 12, 6080(2021)。https://doi.org/10.1038/s41467-021-26353-1
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