寻路靠窗过程建模:先进的DRAM电容器模式评估使用虚拟制造过程窗口


在先进的DRAM,电容器密集模式旨在增加细胞密度。因此,先进的模式方案,如多个litho-etch SADP和SAQP流程可能需要。在本文中,我们系统地评估DRAM电容器孔形成过程,包括SADP SAQP模式,在SEMulator3D使用虚拟制造和统计分析。聚氨酯……»阅读更多

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