制造业:10月5日


EUV光刻存储环在最近有光掩模技术+ EUV光刻技术会议上,日本的高能加速器研究组织(KEK)发表了一篇论文在其最新的努力建立一个自由电子激光(恶魔)存储环源动力装置极端紫外线光刻技术(EUV)。KEK演示了一个概念验证EUV-FEL,一直在研发。EUV-FEL……»阅读更多

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