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高温工艺集成先进材料“,


从最近的几个光刻节点,在14到10nm范围内,到最新的节点,在7到5nm范围内,对图案和图像传输材料的要求急剧增加。一个关键的关键点是平面化和所需的碳膜的高温稳定性之间的权衡,用于模压和后模压工艺集成。喋喋不休地说……»阅读更多

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