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>缺陷检测策略和过程划分为SE EUV模式
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缺陷检测策略和过程划分为SE EUV模式
通过
IBM
——2019年1月24日——评论:1
文摘第二节点的实现的关键挑战single-expose EUV模式理解和减轻patterning-related缺陷窄窗口过程。典型的在线检测技术,如宽带等离子体(291 x)和电子束系统,难以检测的主要yield-detracting post-develop缺陷,从而理解过程的影响……
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