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在半导体制造中使用更少的氦


氦气的供应日益短缺。虽然消费者可能最熟悉的是用于填充气球,但它在各种工业过程中使用得更多,包括半导体制造。由于对供应的担忧,包括Lam在内的许多公司都在寻找减少氦气使用量的方法。半导体芯片的制造涉及到…»阅读更多

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